تا اواخر قرن نوزدهم ستاره شناسان فکر می کردند آتشفشان ها حفره های ماه را به وجود آورده اند. تا این که در دهه 1870 ستاره شناس انگلیسی، ریچارد آر پروکتور (Richard R Proctor) به درستی گفت که چاله های ماه نتیجه برخورد اجسام سخت با ماه هستند. بیشتر حفره های ماه بر اثر برخورد سیارک ها، شهاب سنگ ها و ستاره های دنباله دار به وجود آمده اند.
ماه جو ندارد و در نتیجه چیزی نمی تواند مانع برخورد این اشیاء با ماه شود. این اشیاء با سرعت های مختلف به سطح ماه برخورد می کنند. ولی متوسط سرعت آنها 20 کیلومتر در ثانیه (12 مایل در ثانیه) است. این در حالی است که چون زمین جو دارد بسیاری ازاین گونه اشیاء پس از برخورد به جو زمین می سوزند. از آنجایی که در ماه، باد و آب هم وجود ندارد و فعالیت زمین شناسی هم در ماه صورت نمی گیرد تا سطح حفره ها را بپوشاند، سطح ماه به همان شکل قبلی باقی می ماند تا شیء دیگری به آن برخورد کند و دوباره حفره دیگری به وجود آورد و شکلش را تغییر دهد.
حفره اویلر (Euler) یک حفره پیچیده با قطر 17 مایل (28 کیلومتر) و عمق 1.5 مایل (2.5 کیلومتر) است. حفره اویلر قله های مرکزی و دیواره های سستی دارد. قله ها تقریباً به سرعت بعد از برخورد شکل گرفته اند. یعنی زمانی که حفره، زمین اطراف محل برخورد را به هم فشرده کرده. در این هنگام زمین محل برخورد به سمت بالا جهیده و قله ها را تشکیل داده
این تصویر یک حفره گرد بسیار عظیم است که 25 مایل (40 کیلومتر) قطر دارد و عمق آن از لبه تا کف به 2.2 مایل (3.6 کیلومتر) می رسد. مقدار بسیار زیادی مواد پرتابی (موادی که بر اثر برخورد بیرون ریخته اند) حفره را احاطه کرده اند
چاله های ماه نام دانشمندان را بر خود دارند. به عنوان مثال یکی از حفره ها به نام ابوریحان بیرونی ستاره شناس بزرگ ایرانی و دیگری به نام کپرنیک ستاره شناس لهستانی نامگذاری شده.
بعضی از حفره ها کمتر از شش مایل (ده کیلومتر) قطر دارند و شکل یک بشقاب ساده را دارند. اما حفره های بزرگ تر نمی توانند شکل بشقابی خود را حفظ کنند و دیواره حفره ها خیلی شیب دار است. مواد از دیواره به کف حفره می افتند و کف صاف می شود. شکل بعضی از حفره ها هم به معما تبدیل شده است. آنها شکل های عجیبی دارند و دانشمندان نمی فهمند که چرا این چنینند.
حفره های بزرگ که 120 مایل (200 کیلومتر) عرض دارند، به سمت تشکیل کوهستان مرکزی پیش می روند. به این ترتیب سطح ماه خطوط کوهستانی زیادی دارد. وقتی اجسام به ماه برخورد می کنند، سنگ های اطراف ترک می خورند و می شکنند. یعنی سنگ ها بر اثر فشاری که برای ایجاد حفره وارد می آید، چاک می خورند و به این ترتیب اطراف حفره پر از اشکال کوه مانند می شود.
حفره ptolemaeus، حفرهبزرگی با قطر 164 کیلومتر است
به این ترتیب کوه های زیادی در حاشیه حفره های بزرگ به چشم می خورد. بعضی از آنها یک قله مرکزی دارند. کوه Rupes Altai در ماه 50 کیلومتر بلندی دارد.
در داخل بیشتر چاله ها هم گدازه جریان یافته است وفقط قسمتی از بخش بیرونی آنها قابل دیدن است. ماریا که ارتفاعش پایین تر از مناطق دیگر ماه است و 16 درصد از سطح ماه را پوشانده، نسبت به مناطق دیگر چاله های کمتری دارد.
علتش این است که منطقه ماریا دیرتر تشکیل شده و در نتیجه کمتر در معرض ضربه خوردن قرار گرفته.